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Ceramic composition for electrostatic chuck heater sintered body and method for manufacturing silicon nitride sintered body for electrostatic chuck using the same
Provided is a method for manufacturing a silicon nitride sintered body for an electrostatic chuck heater. According to one embodiment of the present invention, the method for manufacturing a silicon nitride sintered body for an electrostatic chuck heater comprises: a step (1) of manufacturing a molded body for the electrostatic chuck heater with a ceramic slurry including a ceramic composition for manufacturing a sintered body of the electrostatic chuck heater, which includes metal silicon powder and crystalline phase control powder including a rare earth element-containing compound and a magnesium-containing compound, a solvent, and an organic binder; and a heat treatment step (2) including a first heat treatment section in which the molded body is heat-treated at a first temperature of 1300 to 1500℃ while applying nitrogen gas at a predetermined pressure to sinter the molded body to silicon nitride (Si_3N_4) and a second heat treatment section in which the molded body is sintered by heat-treating at a second temperature of 1700 to 1900℃, According to the present invention, the method is very suitable for performing a step of nitriding the molded body with silicon nitride (Si_3N_4) and sintering the molded body, thereby reducing manufacturing time and man-hours, and accordingly, the method is suitable for mass-producing the silicon nitride sintered body for the electrostatic chuck heater.
정전 척 히터용 질화규소 소결체 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 정전 척 히터용 질화규소 소결체 제조방법은 (1) 금속 실리콘 분말, 및 희토류 원소 함유 화합물과 마그네슘 함유 화합물을 포함하는 결정상 제어 분말을 포함하는 정전 척 히터 소결체 제조용 세라믹 조성물, 용매 및 유기바인더를 포함하는 세라믹 슬러리로 정전 척 히터용 성형체를 제조하는 단계, 및 (2) 상기 성형체에 대해서 소정의 압력으로 질소가스를 가하면서 1300 내지 1500℃인 제1온도로 열처리하여 성형체를 질화규소(Si3N4)화 시키는 제1열처리 구간 및 1700 내지 1900℃인 제2온도로 열처리하여 성형체를 소결시키는 제2열처리 구간을 포함하는 열처리 단계를 포함한다. 이에 의하면, 성형체를 질화규소(Si3N4)로 질화시키고, 소결시키는 공정을 원스텝으로 수행하기에 매우 적합함에 따라서 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있고, 이에 따라서 정전 척 히터용 질화규소 소결체를 대량생산하는데 적합할 수 있다.
Ceramic composition for electrostatic chuck heater sintered body and method for manufacturing silicon nitride sintered body for electrostatic chuck using the same
Provided is a method for manufacturing a silicon nitride sintered body for an electrostatic chuck heater. According to one embodiment of the present invention, the method for manufacturing a silicon nitride sintered body for an electrostatic chuck heater comprises: a step (1) of manufacturing a molded body for the electrostatic chuck heater with a ceramic slurry including a ceramic composition for manufacturing a sintered body of the electrostatic chuck heater, which includes metal silicon powder and crystalline phase control powder including a rare earth element-containing compound and a magnesium-containing compound, a solvent, and an organic binder; and a heat treatment step (2) including a first heat treatment section in which the molded body is heat-treated at a first temperature of 1300 to 1500℃ while applying nitrogen gas at a predetermined pressure to sinter the molded body to silicon nitride (Si_3N_4) and a second heat treatment section in which the molded body is sintered by heat-treating at a second temperature of 1700 to 1900℃, According to the present invention, the method is very suitable for performing a step of nitriding the molded body with silicon nitride (Si_3N_4) and sintering the molded body, thereby reducing manufacturing time and man-hours, and accordingly, the method is suitable for mass-producing the silicon nitride sintered body for the electrostatic chuck heater.
정전 척 히터용 질화규소 소결체 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 정전 척 히터용 질화규소 소결체 제조방법은 (1) 금속 실리콘 분말, 및 희토류 원소 함유 화합물과 마그네슘 함유 화합물을 포함하는 결정상 제어 분말을 포함하는 정전 척 히터 소결체 제조용 세라믹 조성물, 용매 및 유기바인더를 포함하는 세라믹 슬러리로 정전 척 히터용 성형체를 제조하는 단계, 및 (2) 상기 성형체에 대해서 소정의 압력으로 질소가스를 가하면서 1300 내지 1500℃인 제1온도로 열처리하여 성형체를 질화규소(Si3N4)화 시키는 제1열처리 구간 및 1700 내지 1900℃인 제2온도로 열처리하여 성형체를 소결시키는 제2열처리 구간을 포함하는 열처리 단계를 포함한다. 이에 의하면, 성형체를 질화규소(Si3N4)로 질화시키고, 소결시키는 공정을 원스텝으로 수행하기에 매우 적합함에 따라서 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있고, 이에 따라서 정전 척 히터용 질화규소 소결체를 대량생산하는데 적합할 수 있다.
Ceramic composition for electrostatic chuck heater sintered body and method for manufacturing silicon nitride sintered body for electrostatic chuck using the same
정전 척 히터 소결체 제조용 세라믹 조성물 및 이를 이용한 정전 척 히터용 질화규소 소결체 제조방법
WOO KYUNG WHAN (author) / CHEONG HUN (author) / OH CHANG WOO (author)
2023-07-19
Patent
Electronic Resource
Korean
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