A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
기판 처리 장치를 제공한다. 제공되는 기판 저리 장치는, 기판 처리 장치에 있어서, 내부에 기판을 처리하는 공간이 마련된 하우징; 상기 하우징의 일부분에 형성되는 개구; 및 상기 개구를 개폐하는 밀폐 도어;를 포함한다. 또한 상기 밀폐 도어는, 둘레에 제1 실링부재와 제2 실링부재가 구비된 쐐기부를 가지고, 상기 제2 실링부재는, 상기 제1 실링부재의 후미에 위치되되 상기 제1 실링부재에 비하여 짧은 둘레를 가지고, 상기 개구의 내측면은, 상기 쐐기부의 둘레에 밀착되는 형태로 제공된다.
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
기판 처리 장치를 제공한다. 제공되는 기판 저리 장치는, 기판 처리 장치에 있어서, 내부에 기판을 처리하는 공간이 마련된 하우징; 상기 하우징의 일부분에 형성되는 개구; 및 상기 개구를 개폐하는 밀폐 도어;를 포함한다. 또한 상기 밀폐 도어는, 둘레에 제1 실링부재와 제2 실링부재가 구비된 쐐기부를 가지고, 상기 제2 실링부재는, 상기 제1 실링부재의 후미에 위치되되 상기 제1 실링부재에 비하여 짧은 둘레를 가지고, 상기 개구의 내측면은, 상기 쐐기부의 둘레에 밀착되는 형태로 제공된다.
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
기판 처리 장치
KIM KYUNG MIN (author) / NA SEUNG EUN (author) / KIM SOON HYUN (author)
2024-03-28
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
E05C
Riegel oder Feststellvorrichtungen für Flügel, insbesondere für Türen oder Fenster
,
BOLTS OR FASTENING DEVICES FOR WINGS, SPECIALLY FOR DOORS OR WINDOWS
/
E06B
Feste oder bewegliche Abschlüsse für Öffnungen in Bauwerken, Fahrzeugen, Zäunen oder ähnlichen Einfriedungen allgemein, z.B. Türen, Fenster, Läden, Tore
,
FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES, OR LIKE ENCLOSURES, IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
Ultrapure water supply apparatus, substrate processing system, and substrate processing method
| European Patent Office | 2023
DOOR OPENER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS PROVIDED THEREWITH
| European Patent Office | 2020