A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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3 Three-dimensional breathable ceramic structure pellicle frame for lithography using the same pellicle and manufacturing method thereof
본 발명은 펠리클 프레임에 요구되는 통기성과 표면강도를 갖는 통기성 세라믹 3차원 구조체, 그를 이용한 리소그래피용 펠리클 프레임, 펠리클, 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 세라믹 원소재 필름과 폴리머 메쉬를 교대로 복수회 적층한 후 열압착하여 적층체를 제조하는 단계, 적층체에 대한 열처리로 폴리머 메쉬들을 제거하여 폴리머 메쉬들이 적층된 층 방향으로 통기성을 갖는 유로를 형성하는 단계, 및 폴리머 메쉬들이 제거된 적층체를 소결하는 단계를 포함하는 통기성 세라믹 3차원 구조체의 제조 방법을 제공한다.
3 Three-dimensional breathable ceramic structure pellicle frame for lithography using the same pellicle and manufacturing method thereof
본 발명은 펠리클 프레임에 요구되는 통기성과 표면강도를 갖는 통기성 세라믹 3차원 구조체, 그를 이용한 리소그래피용 펠리클 프레임, 펠리클, 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 세라믹 원소재 필름과 폴리머 메쉬를 교대로 복수회 적층한 후 열압착하여 적층체를 제조하는 단계, 적층체에 대한 열처리로 폴리머 메쉬들을 제거하여 폴리머 메쉬들이 적층된 층 방향으로 통기성을 갖는 유로를 형성하는 단계, 및 폴리머 메쉬들이 제거된 적층체를 소결하는 단계를 포함하는 통기성 세라믹 3차원 구조체의 제조 방법을 제공한다.
3 Three-dimensional breathable ceramic structure pellicle frame for lithography using the same pellicle and manufacturing method thereof
통기성 세라믹 3차원 구조체, 그를 이용한 리소그래피용 펠리클 프레임, 펠리클, 및 그의 제조 방법
HYEONGKEUN KIM (author) / KIM SEULGI (author) / LEE SOYOON (author) / YONGSU KIM (author) / CHOI JAEHYUCK (author) / SEO KYOUNG WON (author) / SEONGHWAN PARK (author) / HONGGU KANG (author) / YU LAN (author) / KIM KYOUNG SOO (author)
2025-01-03
Patent
Electronic Resource
Korean
PELLICLE FRAME AND MANUFACTURING METHOD OF PELLICLE FRAME
| European Patent Office | 2016
pellicle frame for extreme ultraviolet and pellicle for extreme ultraviolet comprising same
| European Patent Office | 2023
pellicle frame for extreme ultraviolet and pellicle for extreme ultraviolet comprising same
European Patent Office | 2024