A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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A pellicle frame (1) according to an aspect of the present disclosure has a rectangular shape in plan view, and is provided with one or more recesses (25) in an outer peripheral surface (13) of the pellicle frame (1), the one or more recesses (25) being provided in one or more side parts among four side parts. The one or more recesses (25) are each provided with a through-hole (27) that penetrates through the side part in which the recess (25) is provided and opens to the inside of the recess (25) and an inner peripheral surface (11). At least one recess (25) among the one or more recesses (25) is provided with a plurality of through-holes (27). Moreover, in the recess (25) in which at least one through-hole (27) is provided, a ventilation area S1 that is the area of an open end on the outer peripheral surface (13) side of the recess (25) is larger than a minimum cross-sectional area S2 that is the minimum cross-sectional area of a gas flow path formed by the through-hole (27).
La présente invention concerne un cadre de pellicule (1) qui possède une forme rectangulaire dans une vue en plan et qui est pourvu d'un ou de plusieurs évidements (25) dans une surface périphérique externe (13) du cadre de pellicule (1), le ou les évidements (25) étant disposés dans une ou plusieurs parties latérales parmi quatre parties latérales. Le ou les évidements (25) comportent chacun un trou traversant (27) qui pénètre dans la partie latérale dans laquelle l'évidement (25) est ménagé et qui s'ouvre vers l'intérieur de l'évidement (25), ainsi qu'une surface périphérique interne (11). Au moins un évidement (25) parmi le ou les évidements (25) est pourvu d'une pluralité de trous traversants (27). De plus, dans l'évidement (25) dans lequel au moins un trou traversant (27) est prévu, une zone de ventilation S1 qui constitue la zone d'une extrémité ouverte située sur le côté surface périphérique externe (13) de l'évidement (25) est plus grande qu'une aire de section transversale minimale S2 qui constitue la zone de section transversale minimale d'un trajet d'écoulement de gaz formé par le trou traversant (27).
本開示の一つの局面におけるペリクル枠（１）は、平面視で矩形形状であり、ペリクル枠（１）の外周面（１３）には、１又は複数の凹部（２５）を備えるとともに、その１又は複数の凹部（２５）は、４つの辺部のうち、１又は複数の辺部に設けられている。１又は複数の凹部（２５）は、その凹部（２５）が設けられた辺部を貫通して当該凹部（２５）の内側と内周面（１１）とに開口する貫通孔（２７）を備えている。１又は複数の凹部（２５）のうち、少なくとも一つの凹部（２５）は、貫通孔（２７）を複数備えている。さらに、貫通孔（２７）が少なくとも一つ設けられた凹部（２５）では、当該凹部（２５）の外周面（１３）側の開口端の面積である通気面積Ｓ１が、貫通孔（２７）のなす気体流路の最小の断面積である最小断面積Ｓ２より大である。
A pellicle frame (1) according to an aspect of the present disclosure has a rectangular shape in plan view, and is provided with one or more recesses (25) in an outer peripheral surface (13) of the pellicle frame (1), the one or more recesses (25) being provided in one or more side parts among four side parts. The one or more recesses (25) are each provided with a through-hole (27) that penetrates through the side part in which the recess (25) is provided and opens to the inside of the recess (25) and an inner peripheral surface (11). At least one recess (25) among the one or more recesses (25) is provided with a plurality of through-holes (27). Moreover, in the recess (25) in which at least one through-hole (27) is provided, a ventilation area S1 that is the area of an open end on the outer peripheral surface (13) side of the recess (25) is larger than a minimum cross-sectional area S2 that is the minimum cross-sectional area of a gas flow path formed by the through-hole (27).
La présente invention concerne un cadre de pellicule (1) qui possède une forme rectangulaire dans une vue en plan et qui est pourvu d'un ou de plusieurs évidements (25) dans une surface périphérique externe (13) du cadre de pellicule (1), le ou les évidements (25) étant disposés dans une ou plusieurs parties latérales parmi quatre parties latérales. Le ou les évidements (25) comportent chacun un trou traversant (27) qui pénètre dans la partie latérale dans laquelle l'évidement (25) est ménagé et qui s'ouvre vers l'intérieur de l'évidement (25), ainsi qu'une surface périphérique interne (11). Au moins un évidement (25) parmi le ou les évidements (25) est pourvu d'une pluralité de trous traversants (27). De plus, dans l'évidement (25) dans lequel au moins un trou traversant (27) est prévu, une zone de ventilation S1 qui constitue la zone d'une extrémité ouverte située sur le côté surface périphérique externe (13) de l'évidement (25) est plus grande qu'une aire de section transversale minimale S2 qui constitue la zone de section transversale minimale d'un trajet d'écoulement de gaz formé par le trou traversant (27).
本開示の一つの局面におけるペリクル枠（１）は、平面視で矩形形状であり、ペリクル枠（１）の外周面（１３）には、１又は複数の凹部（２５）を備えるとともに、その１又は複数の凹部（２５）は、４つの辺部のうち、１又は複数の辺部に設けられている。１又は複数の凹部（２５）は、その凹部（２５）が設けられた辺部を貫通して当該凹部（２５）の内側と内周面（１１）とに開口する貫通孔（２７）を備えている。１又は複数の凹部（２５）のうち、少なくとも一つの凹部（２５）は、貫通孔（２７）を複数備えている。さらに、貫通孔（２７）が少なくとも一つ設けられた凹部（２５）では、当該凹部（２５）の外周面（１３）側の開口端の面積である通気面積Ｓ１が、貫通孔（２７）のなす気体流路の最小の断面積である最小断面積Ｓ２より大である。
PELLICLE FRAME
CADRE DE PELLICULE
ペリクル枠
KIMURA YUKIHIRO (author)
2020-01-09
Patent
Electronic Resource
Japanese
PELLICLE FRAME AND MANUFACTURING METHOD OF PELLICLE FRAME
| European Patent Office | 2016
pellicle frame for extreme ultraviolet and pellicle for extreme ultraviolet comprising same
| European Patent Office | 2023
pellicle frame for extreme ultraviolet and pellicle for extreme ultraviolet comprising same
European Patent Office | 2024
| European Patent Office | 2025