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POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR ELEMENT
[Problem] To provide a polycrystalline dielectric thin film and capacitor element having a small dielectric loss tanδ. [Solution] A polycrystalline dielectric thin film, in which the main composition is a perovskite oxynitride. The perovskite oxynitride is expressed by the compositional formula AaBbOoNn (a+b+o+n = 5), where a/b > 1 and n ≥ 0.7.
Le problème décrit par l'invention est de produire [un film diélectrique mince polycristallin et un élément condensateur ayant une faible perte diélectrique tanδ. La solution selon l'invention porte sur un film diélectrique mince polycristallin, dans lequel la composition principale est un oxynitrure de pérovskite. L'oxynitrure de pérovskite est exprimée par la formule de composition AaBbOoNn (a+b+o+n = 5), où a/b > 1 et n ≥ 0,7.
【課題】 誘電損失ｔａｎδの小さい多結晶誘電体薄膜および容量素子を提供する。 【解決手段】 主組成がペロブスカイト型酸窒化物である多結晶誘電体薄膜である。ペロブスカイト型酸窒化物が組成式ＡａＢｂＯｏＮｎ（ａ＋ｂ＋ｏ＋ｎ＝５）で表され、ａ／ｂ＞１およびｎ≧０．７である。
POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR ELEMENT
[Problem] To provide a polycrystalline dielectric thin film and capacitor element having a small dielectric loss tanδ. [Solution] A polycrystalline dielectric thin film, in which the main composition is a perovskite oxynitride. The perovskite oxynitride is expressed by the compositional formula AaBbOoNn (a+b+o+n = 5), where a/b > 1 and n ≥ 0.7.
Le problème décrit par l'invention est de produire [un film diélectrique mince polycristallin et un élément condensateur ayant une faible perte diélectrique tanδ. La solution selon l'invention porte sur un film diélectrique mince polycristallin, dans lequel la composition principale est un oxynitrure de pérovskite. L'oxynitrure de pérovskite est exprimée par la formule de composition AaBbOoNn (a+b+o+n = 5), où a/b > 1 et n ≥ 0,7.
【課題】 誘電損失ｔａｎδの小さい多結晶誘電体薄膜および容量素子を提供する。 【解決手段】 主組成がペロブスカイト型酸窒化物である多結晶誘電体薄膜である。ペロブスカイト型酸窒化物が組成式ＡａＢｂＯｏＮｎ（ａ＋ｂ＋ｏ＋ｎ＝５）で表され、ａ／ｂ＞１およびｎ≧０．７である。
POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR ELEMENT
FILM DIÉLECTRIQUE MINCE POLYCRISTALLIN ET ÉLÉMENT CONDENSATEUR
多結晶誘電体薄膜および容量素子
YAMAZAKI KUMIKO (author) / CHIHARA HIROSHI (author) / NAGAMINE YUKI (author) / YAMAZAKI JUNICHI (author)
2017-08-10
Patent
Electronic Resource
Japanese
POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR ELEMENT
| European Patent Office | 2019
Polycrystalline dielectric thin film and capacitor element
| European Patent Office | 2020
POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR ELEMENT
| European Patent Office | 2019
POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITANCE ELEMENT
| European Patent Office | 2018