A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
This composite sintered body is a ceramic composite sintered body including aluminum oxide, which is a main phase, and silicon carbide, which is a subphase, said composite sintered body having an interface layer in which a material other than aluminum oxide and silicon carbide constitutes a forming material at an interface of aluminum oxide crystalline particles and silicon carbide crystalline particles at a grain boundary.
L'invention concerne un corps fritté composite qui est un corps fritté composite en céramique comprenant de l'oxyde d'aluminium, qui est une phase principale, et du carbure de silicium, qui est une sous-phase, ledit corps fritté composite ayant une couche d'interface dans laquelle un matériau autre que l'oxyde d'aluminium et le carbure de silicium constitue un matériau de formation au niveau d'une interface de particules cristallines d'oxyde d'aluminium et de particules cristallines de carbure de silicium au niveau d'un joint de grains.
この複合焼結体は、主相である酸化アルミニウムと、副相である炭化ケイ素と、を含むセラミックスの複合焼結体であり、粒界における酸化アルミニウムの結晶粒と、炭化ケイ素の結晶粒との界面に、酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素以外の材料を形成材料とする界面層を有する。
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
This composite sintered body is a ceramic composite sintered body including aluminum oxide, which is a main phase, and silicon carbide, which is a subphase, said composite sintered body having an interface layer in which a material other than aluminum oxide and silicon carbide constitutes a forming material at an interface of aluminum oxide crystalline particles and silicon carbide crystalline particles at a grain boundary.
L'invention concerne un corps fritté composite qui est un corps fritté composite en céramique comprenant de l'oxyde d'aluminium, qui est une phase principale, et du carbure de silicium, qui est une sous-phase, ledit corps fritté composite ayant une couche d'interface dans laquelle un matériau autre que l'oxyde d'aluminium et le carbure de silicium constitue un matériau de formation au niveau d'une interface de particules cristallines d'oxyde d'aluminium et de particules cristallines de carbure de silicium au niveau d'un joint de grains.
この複合焼結体は、主相である酸化アルミニウムと、副相である炭化ケイ素と、を含むセラミックスの複合焼結体であり、粒界における酸化アルミニウムの結晶粒と、炭化ケイ素の結晶粒との界面に、酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素以外の材料を形成材料とする界面層を有する。
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
CORPS FRITTÉ COMPOSITE, ÉLÉMENT DE PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE ET DISPOSITIF DE PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE
複合焼結体、静電チャック部材、および静電チャック装置
HIDAKA NOBUHIRO (author) / KUGIMOTO HIRONORI (author)
2018-08-30
Patent
Electronic Resource
Japanese
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
| European Patent Office | 2019
Composite sintered body, electrostatic chuck member, and electrostatic chuck device
| European Patent Office | 2023
Composite sintered body, electrostatic chuck member, and electrostatic chuck device
| European Patent Office | 2023
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
| European Patent Office | 2020
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
| European Patent Office | 2019