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MGAL2O4 SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET USING SINTERED BODY, AND METHOD FOR PRODUCING MGAL2O4 SINTERED BODY
An MgAl2O4 sintered body characterized by exhibiting a relative density of 90% or higher, and exhibiting an L* value of 90% or higher in the L*a*b* color system. A method for producing an MgAl2O4 sintered body which is characterized by hot-pressing an MgAl2O4 powder at 1,150-1,300°C, and thereafter, sintering at 1,350°C or higher in an air atmosphere. The present invention addresses the problem of providing an MgAl2O4 sintered body which is white in color and has a high density, a sputtering target which uses the sintered body, and a method for producing the MgAl2O4 sintered body.
L'invention concerne un corps fritté en MgAl2O4, caractérisé en ce qu'il présente une densité relative de 90 % ou plus et présentant une valeur L* de 90 % ou plus dans le système de couleur L*a*b*. L'invention concerne également un procédé de production d'un corps fritté en MgAl2O4 qui est caractérisé par le pressage à chaud d'une poudre de MgAl2O4 à 1150-1300°C et ensuite par le frittage à 1350°C ou plus dans une atmosphère d'air. Le problème de la présente invention concerne un corps fritté en MgAl2O4 qui est de couleur blanche et qui possède une densité élevée, une cible de pulvérisation qui utilise le corps fritté et un procédé de production du corps fritté en MgAl2O4.
相対密度が９０％以上であり、且つ、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊が９０以上であることを特徴とするＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体。ＭｇＡｌ２Ｏ４粉末を１１５０～１３００℃でホットプレスした後、１３５０℃以上で大気焼結することを特徴とするＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体の製造方法。本発明の実施形態は、高密度且つ白色のＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット並びにＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体の製造方法を提供することを課題とする。
MGAL2O4 SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET USING SINTERED BODY, AND METHOD FOR PRODUCING MGAL2O4 SINTERED BODY
An MgAl2O4 sintered body characterized by exhibiting a relative density of 90% or higher, and exhibiting an L* value of 90% or higher in the L*a*b* color system. A method for producing an MgAl2O4 sintered body which is characterized by hot-pressing an MgAl2O4 powder at 1,150-1,300°C, and thereafter, sintering at 1,350°C or higher in an air atmosphere. The present invention addresses the problem of providing an MgAl2O4 sintered body which is white in color and has a high density, a sputtering target which uses the sintered body, and a method for producing the MgAl2O4 sintered body.
L'invention concerne un corps fritté en MgAl2O4, caractérisé en ce qu'il présente une densité relative de 90 % ou plus et présentant une valeur L* de 90 % ou plus dans le système de couleur L*a*b*. L'invention concerne également un procédé de production d'un corps fritté en MgAl2O4 qui est caractérisé par le pressage à chaud d'une poudre de MgAl2O4 à 1150-1300°C et ensuite par le frittage à 1350°C ou plus dans une atmosphère d'air. Le problème de la présente invention concerne un corps fritté en MgAl2O4 qui est de couleur blanche et qui possède une densité élevée, une cible de pulvérisation qui utilise le corps fritté et un procédé de production du corps fritté en MgAl2O4.
相対密度が９０％以上であり、且つ、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊が９０以上であることを特徴とするＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体。ＭｇＡｌ２Ｏ４粉末を１１５０～１３００℃でホットプレスした後、１３５０℃以上で大気焼結することを特徴とするＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体の製造方法。本発明の実施形態は、高密度且つ白色のＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット並びにＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体の製造方法を提供することを課題とする。
MGAL2O4 SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET USING SINTERED BODY, AND METHOD FOR PRODUCING MGAL2O4 SINTERED BODY
CORPS FRITTÉ EN MGAL2O4, CIBLE DE PULVÉRISATION UTILISANT LE CORPS FRITTÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CORPS FRITTÉ EN MGAL2O4
ＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット、並びにＭｇＡｌ２Ｏ４焼結体の製造方法
NARITA SATOYASU (author)
2019-10-03
Patent
Electronic Resource
Japanese
| European Patent Office | 2021
| European Patent Office | 2022
METHOD FOR PRODUCING VO2 SINTERED BODY AND VO2 SINTERED BODY SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2021
European Patent Office | 2017
Heat insulating material containing a porous sintered body formed of MgAl2O4
| European Patent Office | 2018