A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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ALUMINUM NITRIDE SHEET
This aluminum nitride sheet has a surface layer and a base layer. The aluminum nitride sheet is configured to satisfy both "Equation 1: c1 > 97.5%" and "Equation 2: c2 / c1 < 0.995," where: c1 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of the surface layer from the thickness direction; and c2 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of a portion (base layer) other than the surface layer from the thickness direction. In this aluminum nitride sheet, the difference between the nitrogen content of the surface layer and that of the portion other than the surface layer, as a weight ratio, is smaller than 0.15%.
Cette invention concerne une tôle en nitrure d'aluminium constituée d'une couche de surface et d'une couche de base. La tôle en nitrure d'aluminium selon l'invention est élaborée de façon à satisfaire à la fois "Équation 1 : c1 > 97,5 %" et "Équation 2 : c2/c1 < 0,995," où : c1 est un degré d'orientation du plan c calculé sous forme de rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) quand les intensités de diffraction sont mesurées par diffraction des rayons X de la couche de surface dans le sens de l'épaisseur ; et c2 est un degré d'orientation du plan c calculé sous forme de rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) quand les intensités de diffraction sont mesurées par diffraction des rayons X d'une partie (couche de base) autre que la couche de surface dans le sens de l'épaisseur. Dans la présent tôle en nitrure d'aluminium, la différence entre la teneur en azote de la couche de surface et celle de la partie autre que la couche de surface, en rapport en poids, est inférieure à 0,15 %.
窒化アルミニウム板は、表層と下層を備えている。この窒化アルミニウム板では、表層を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ１とし、表層以外の部位（下層）を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ２としたときに、「式１：ｃ１＞９７．５％」及び「式２：ｃ２／ｃ１＜０．９９５」の双方を満足している。また、この窒化アルミニウム板では、表層の窒素含有量と表層以外の部位の窒素含有率の差が、重量比で、０．１５％未満である。
ALUMINUM NITRIDE SHEET
This aluminum nitride sheet has a surface layer and a base layer. The aluminum nitride sheet is configured to satisfy both "Equation 1: c1 > 97.5%" and "Equation 2: c2 / c1 < 0.995," where: c1 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of the surface layer from the thickness direction; and c2 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of a portion (base layer) other than the surface layer from the thickness direction. In this aluminum nitride sheet, the difference between the nitrogen content of the surface layer and that of the portion other than the surface layer, as a weight ratio, is smaller than 0.15%.
Cette invention concerne une tôle en nitrure d'aluminium constituée d'une couche de surface et d'une couche de base. La tôle en nitrure d'aluminium selon l'invention est élaborée de façon à satisfaire à la fois "Équation 1 : c1 > 97,5 %" et "Équation 2 : c2/c1 < 0,995," où : c1 est un degré d'orientation du plan c calculé sous forme de rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) quand les intensités de diffraction sont mesurées par diffraction des rayons X de la couche de surface dans le sens de l'épaisseur ; et c2 est un degré d'orientation du plan c calculé sous forme de rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) quand les intensités de diffraction sont mesurées par diffraction des rayons X d'une partie (couche de base) autre que la couche de surface dans le sens de l'épaisseur. Dans la présent tôle en nitrure d'aluminium, la différence entre la teneur en azote de la couche de surface et celle de la partie autre que la couche de surface, en rapport en poids, est inférieure à 0,15 %.
窒化アルミニウム板は、表層と下層を備えている。この窒化アルミニウム板では、表層を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ１とし、表層以外の部位（下層）を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ２としたときに、「式１：ｃ１＞９７．５％」及び「式２：ｃ２／ｃ１＜０．９９５」の双方を満足している。また、この窒化アルミニウム板では、表層の窒素含有量と表層以外の部位の窒素含有率の差が、重量比で、０．１５％未満である。
ALUMINUM NITRIDE SHEET
TÔLE EN NITRURE D'ALUMINIUM
窒化アルミニウム板
KOBAYASHI YOSHIMASA (author) / KOBAYASHI HIROHARU (author)
2019-10-03
Patent
Electronic Resource
Japanese
ALUMINUM NITRIDE POWDER AND ALUMINUM NITRIDE SINTERED COMPACT
| European Patent Office | 2017