A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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ALUMINUM NITRIDE SHEET
This aluminum nitride sheet has a surface layer and a base layer. The aluminum nitride sheet is configured to satisfy "Equation 1: c1 > 97.5%," "Equation 2: c2 > 97.0%," "Equation 3: w1 < 2.5°," and "Equation 4: w1 / w2 < 0.995," where: c1 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of the surface layer from the thickness direction; c2 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of a portion other than the surface layer from the thickness direction; w1 is a half width in the X-ray rocking curve profile of the (102) plane of the surface layer; and w2 is a half width in the X-ray rocking curve profile of the (102) plane of the portion other than the surface layer.
La présente invention concerne une feuille de nitrure d'aluminium comportant une couche de surface et une couche de base. La feuille de nitrure d'aluminium est conçue pour satisfaire "équation 1 : c1 > 97,5 %", "équation 2 : c2 > 97,0 %", "équation 3 : w1 < 2,5°", et "équation 4 : w1/w2 < 0,995", où : c1 est un degré d'orientation de plan c calculé en tant que rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) par rapport à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) lorsque les intensités de diffraction sont mesurées par une diffraction des rayons X de la couche de surface dans la direction d'épaisseur ; c2 est un degré d'orientation de plan c calculé en tant que rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) par rapport à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) lorsque les intensités de diffraction sont mesurées par une diffraction des rayons X d'une partie autre que la couche de surface dans la direction d'épaisseur ; w1 est une demi-largeur du profil de courbe d'oscillation de rayons X du plan (102) de la couche de surface ; et w2 est une demi-largeur du profil de courbe d'oscillation de rayons X du plan (102) de la partie autre que la couche de surface.
窒化アルミニウム板は、表層と下層を備えている。この窒化アルミニウム板では、表層を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ１とし、表層以外の部位を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ２とし、表層の（１０２）面のＸ線ロッキングカーブプロファイルにおける半値幅をｗ１とし、表層以外の部位の（１０２）面のＸ線ロッキングカーブプロファイルにおける半値幅をｗ２としたときに、「式１：ｃ１＞９７．５％」、「式２：ｃ２＞９７．０％」、「式３：ｗ１＜２．５°」、「式４：ｗ１／ｗ２＜０．９９５」を満足している。
ALUMINUM NITRIDE SHEET
This aluminum nitride sheet has a surface layer and a base layer. The aluminum nitride sheet is configured to satisfy "Equation 1: c1 > 97.5%," "Equation 2: c2 > 97.0%," "Equation 3: w1 < 2.5°," and "Equation 4: w1 / w2 < 0.995," where: c1 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of the surface layer from the thickness direction; c2 is a c-plane orientation degree calculated as a ratio of the diffraction intensity of the (002) plane with respect to the sum of the diffraction intensity of the (002) plane and the diffraction intensity of the (100) plane when the diffraction intensities are measured by X-ray diffraction of a portion other than the surface layer from the thickness direction; w1 is a half width in the X-ray rocking curve profile of the (102) plane of the surface layer; and w2 is a half width in the X-ray rocking curve profile of the (102) plane of the portion other than the surface layer.
La présente invention concerne une feuille de nitrure d'aluminium comportant une couche de surface et une couche de base. La feuille de nitrure d'aluminium est conçue pour satisfaire "équation 1 : c1 > 97,5 %", "équation 2 : c2 > 97,0 %", "équation 3 : w1 < 2,5°", et "équation 4 : w1/w2 < 0,995", où : c1 est un degré d'orientation de plan c calculé en tant que rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) par rapport à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) lorsque les intensités de diffraction sont mesurées par une diffraction des rayons X de la couche de surface dans la direction d'épaisseur ; c2 est un degré d'orientation de plan c calculé en tant que rapport de l'intensité de diffraction du plan (002) par rapport à la somme de l'intensité de diffraction du plan (002) et de l'intensité de diffraction du plan (100) lorsque les intensités de diffraction sont mesurées par une diffraction des rayons X d'une partie autre que la couche de surface dans la direction d'épaisseur ; w1 est une demi-largeur du profil de courbe d'oscillation de rayons X du plan (102) de la couche de surface ; et w2 est une demi-largeur du profil de courbe d'oscillation de rayons X du plan (102) de la partie autre que la couche de surface.
窒化アルミニウム板は、表層と下層を備えている。この窒化アルミニウム板では、表層を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ１とし、表層以外の部位を厚み方向からＸ線回折測定したときの（００２）面の回折強度と（１００）面の回折強度の合計に対する（００２）面の回折強度の割合をｃ面配向度ｃ２とし、表層の（１０２）面のＸ線ロッキングカーブプロファイルにおける半値幅をｗ１とし、表層以外の部位の（１０２）面のＸ線ロッキングカーブプロファイルにおける半値幅をｗ２としたときに、「式１：ｃ１＞９７．５％」、「式２：ｃ２＞９７．０％」、「式３：ｗ１＜２．５°」、「式４：ｗ１／ｗ２＜０．９９５」を満足している。
ALUMINUM NITRIDE SHEET
FEUILLE DE NITRURE D'ALUMINIUM
窒化アルミニウム板
KOBAYASHI YOSHIMASA (author) / KOBAYASHI HIROHARU (author) / SHIBATA HIROYUKI (author)
2019-10-03
Patent
Electronic Resource
Japanese
ALUMINUM NITRIDE POWDER AND ALUMINUM NITRIDE SINTERED COMPACT
| European Patent Office | 2017