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PLASMA RESISTANT YTTRIUM ALUMINUM OXIDE CHAMBER COMPONENTS
Disclosed herein are plasma chamber components that comprise a ceramic sintered body comprising at least one first layer comprising a surface having a surface area and at least one crystalline phase of from 90% to 99.8% by volume of poly crystalline yttrium aluminum garnet (YAG), at least one second layer comprising alumina and zirconia wherein the zirconia comprises at least one of stabilized and partially stabilized zirconia, and optionally, at least one third layer comprising at least one selected from the group consisting of YAG, alumina, and zirconia.
Sont divulgués ici des composants de chambre à plasma qui comprennent un corps fritté en céramique comprenant au moins une première couche comprenant une surface ayant une surface spécifique et au moins une phase cristalline de 90 % à 99,8 % en volume de grenat d'yttrium-aluminium polycristallin (YAG), au moins une deuxième couche comprenant de l'alumine et de la zircone, la zircone comprenant au moins l'une parmi la zircone stabilisée et partiellement stabilisée, et éventuellement, au moins une troisième couche comprenant au moins un élément choisi dans le groupe constitué de YAG, d'alumine et de zircone.
PLASMA RESISTANT YTTRIUM ALUMINUM OXIDE CHAMBER COMPONENTS
Disclosed herein are plasma chamber components that comprise a ceramic sintered body comprising at least one first layer comprising a surface having a surface area and at least one crystalline phase of from 90% to 99.8% by volume of poly crystalline yttrium aluminum garnet (YAG), at least one second layer comprising alumina and zirconia wherein the zirconia comprises at least one of stabilized and partially stabilized zirconia, and optionally, at least one third layer comprising at least one selected from the group consisting of YAG, alumina, and zirconia.
Sont divulgués ici des composants de chambre à plasma qui comprennent un corps fritté en céramique comprenant au moins une première couche comprenant une surface ayant une surface spécifique et au moins une phase cristalline de 90 % à 99,8 % en volume de grenat d'yttrium-aluminium polycristallin (YAG), au moins une deuxième couche comprenant de l'alumine et de la zircone, la zircone comprenant au moins l'une parmi la zircone stabilisée et partiellement stabilisée, et éventuellement, au moins une troisième couche comprenant au moins un élément choisi dans le groupe constitué de YAG, d'alumine et de zircone.
PLASMA RESISTANT YTTRIUM ALUMINUM OXIDE CHAMBER COMPONENTS
COMPOSANTS DE CHAMBRE D'OXYDE D'YTTRIUM-ALUMINIUM RÉSISTANT AU PLASMA
DONELON MATTHEW (author) / WALKER LUKE (author) / BISTA SAURAV (author) / WAGHMARE SAURABH (author) / THOMPSON LILLIAN (author)
2022-09-15
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H01J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
,
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
PLASMA RESISTANT YTTRIUM ALUMINUM OXIDE CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2024
YTTRIUM ALUMINUM COATING FOR PLASMA PROCESSING CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2023