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SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided is a silicon nitride powder which contains fluorine in an amount of not more than 600 mass ppm and carbon in an amount of not more than 0.1 mass% and which has an α-conversion rate of not less than 80%. Also provided is a method for producing a silicon nitride powder, said method comprising: a filling step for filling a container with a raw material powder so that bulk density is not less than 0.7 g/cm3 and the filling height of the raw material powder is 15-80 mm, the raw material powder containing a silicon powder and containing fluoride in an amount of not more than 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the silicon powder; a firing step for firing the raw material powder with which the container is filled in an atmosphere containing nitrogen gas to obtain a fired product containing silicon nitride; and a crushing step for crushing the fired product.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium qui contient du fluor en une quantité qui n'est pas supérieure à 600 ppm en masse et du carbone en une quantité qui n'est pas supérieure à 0,1 % en masse et qui a un taux de conversion α supérieur ou égal à 80 %. L'invention concerne également un procédé de production d'une poudre de nitrure de silicium, ledit procédé comprenant : une étape de remplissage pour remplir un récipient avec une poudre de matière première de telle sorte que la densité apparente n'est pas inférieure à 0,7 g/cm3 et la hauteur de remplissage de la poudre de matière première est de 15 à 80 mm, la poudre de matière première contenant une poudre de silicium et contenant du fluorure en une quantité inférieure ou égale à 1 partie en masse par rapport à 100 parties en masse de la poudre de silicium ; une étape de cuisson pour cuire la poudre de matière première avec laquelle le récipient est rempli dans une atmosphère contenant de l'azote gazeux pour obtenir un produit cuit contenant du nitrure de silicium ; et une étape de broyage pour broyer le produit cuit.
フッ素の含有量が６００質量ｐｐｍ以下、且つ、炭素の含有量が０．１質量％以下であり、α化率が８０％以上である、窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末を含み、ケイ素粉末１００質量部に対するフッ化物の含有量が１質量部以下である原料粉末を、かさ密度が０．７ｇ／ｃｍ３以上、且つ原料粉末の充填高さが１５～８０ｍｍになるように容器に充填する充填工程と、容器に充填された原料粉末を、窒素ガスを含む雰囲気中で焼成して、窒化ケイ素を含む焼成物を得る焼成工程と、焼成物を粉砕する粉砕工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided is a silicon nitride powder which contains fluorine in an amount of not more than 600 mass ppm and carbon in an amount of not more than 0.1 mass% and which has an α-conversion rate of not less than 80%. Also provided is a method for producing a silicon nitride powder, said method comprising: a filling step for filling a container with a raw material powder so that bulk density is not less than 0.7 g/cm3 and the filling height of the raw material powder is 15-80 mm, the raw material powder containing a silicon powder and containing fluoride in an amount of not more than 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the silicon powder; a firing step for firing the raw material powder with which the container is filled in an atmosphere containing nitrogen gas to obtain a fired product containing silicon nitride; and a crushing step for crushing the fired product.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium qui contient du fluor en une quantité qui n'est pas supérieure à 600 ppm en masse et du carbone en une quantité qui n'est pas supérieure à 0,1 % en masse et qui a un taux de conversion α supérieur ou égal à 80 %. L'invention concerne également un procédé de production d'une poudre de nitrure de silicium, ledit procédé comprenant : une étape de remplissage pour remplir un récipient avec une poudre de matière première de telle sorte que la densité apparente n'est pas inférieure à 0,7 g/cm3 et la hauteur de remplissage de la poudre de matière première est de 15 à 80 mm, la poudre de matière première contenant une poudre de silicium et contenant du fluorure en une quantité inférieure ou égale à 1 partie en masse par rapport à 100 parties en masse de la poudre de silicium ; une étape de cuisson pour cuire la poudre de matière première avec laquelle le récipient est rempli dans une atmosphère contenant de l'azote gazeux pour obtenir un produit cuit contenant du nitrure de silicium ; et une étape de broyage pour broyer le produit cuit.
フッ素の含有量が６００質量ｐｐｍ以下、且つ、炭素の含有量が０．１質量％以下であり、α化率が８０％以上である、窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末を含み、ケイ素粉末１００質量部に対するフッ化物の含有量が１質量部以下である原料粉末を、かさ密度が０．７ｇ／ｃｍ３以上、且つ原料粉末の充填高さが１５～８０ｍｍになるように容器に充填する充填工程と、容器に充填された原料粉末を、窒素ガスを含む雰囲気中で焼成して、窒化ケイ素を含む焼成物を得る焼成工程と、焼成物を粉砕する粉砕工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ, ET CORPS FRITTÉ EN NITRURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ
窒化ケイ素粉末及びその製造方法、並びに、窒化ケイ素焼結体及びその製造方法
NOGAMI NAOTSUGU (author) / TANAKA TOSHIO (author) / TAKEDA GO (author)
2022-09-29
Patent
Electronic Resource
Japanese
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