A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN-FILM COATING MEMBER, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
Provided is a composite material containing: a matrix of metal oxides; a fluororesin; and one or more types of metallic materials selected from the group consisting of In, Sn, and Bi.
L'invention concerne un matériau composite contenant : une matrice d'oxydes métalliques ; une résine fluorée ; et un ou plusieurs types de matériaux métalliques sélectionnés dans le groupe constitué par In, Sn et Bi.
金属酸化物のマトリックスと、フッ素樹脂と、Ｉｎ，Ｓｎ，Ｂｉを含む群から選択される１種以上である金属材料と、を含む、複合材料。
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN-FILM COATING MEMBER, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
Provided is a composite material containing: a matrix of metal oxides; a fluororesin; and one or more types of metallic materials selected from the group consisting of In, Sn, and Bi.
L'invention concerne un matériau composite contenant : une matrice d'oxydes métalliques ; une résine fluorée ; et un ou plusieurs types de matériaux métalliques sélectionnés dans le groupe constitué par In, Sn et Bi.
金属酸化物のマトリックスと、フッ素樹脂と、Ｉｎ，Ｓｎ，Ｂｉを含む群から選択される１種以上である金属材料と、を含む、複合材料。
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN-FILM COATING MEMBER, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
MATÉRIAU COMPOSITE, CIBLE DE PULVÉRISATION, ÉLÉMENT DE REVÊTEMENT À FILM MINCE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
複合材料、スパッタリングターゲット、薄膜被覆部材、及び製造方法
TAGA YASUNORI (author)
2023-02-23
Patent
Electronic Resource
Japanese
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN FILM COATING MEMBER AND MANUFACTURING METHOD
| European Patent Office | 2023
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET MATERIAL, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2017
European Patent Office | 2021
| European Patent Office | 2019