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ALUMINA-BASED SINTERED BODY AND ELECTROSTATIC CHUCK
The present invention provides an alumina-based sintered body which is mainly composed of alumina (Al2O3), wherein the content of magnesia (MgO) relative to the content of alumina satisfies 0.00 mol% < MgO ≤ 0.20 mol%. This alumina-based sintered body has a density of 3.96 g/cm3 or more; and the standard deviation of the grain sizes of alumina crystal grains is less than 4.0 µm.
La présente invention concerne un corps fritté à base d'alumine qui est principalement composé d'alumine (Al2O3), la teneur en magnésie (MgO) par rapport à la teneur en alumine satisfaisant 0,00 % en moles < MgO ≤ 0,20 % en moles. Ce corps fritté à base d'alumine présente une densité supérieure ou égale à 3,96 g/cm3 ; et l'écart-type des tailles de grains de grains cristallins d'alumine est inférieur à 4,0 µm.
アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主成分とし、アルミナの含有量に対するマグネシア（ＭｇＯ）の含有量が０．００ｍｏｌ％＜ＭｇＯ≦０．２０ｍｏｌ％である、アルミナ質焼結体は、密度が３．９６ｇ／ｃｍ3以上であり、かつアルミナ結晶粒子の粒径の標準偏差が４．０μｍより小さい。
ALUMINA-BASED SINTERED BODY AND ELECTROSTATIC CHUCK
The present invention provides an alumina-based sintered body which is mainly composed of alumina (Al2O3), wherein the content of magnesia (MgO) relative to the content of alumina satisfies 0.00 mol% < MgO ≤ 0.20 mol%. This alumina-based sintered body has a density of 3.96 g/cm3 or more; and the standard deviation of the grain sizes of alumina crystal grains is less than 4.0 µm.
La présente invention concerne un corps fritté à base d'alumine qui est principalement composé d'alumine (Al2O3), la teneur en magnésie (MgO) par rapport à la teneur en alumine satisfaisant 0,00 % en moles < MgO ≤ 0,20 % en moles. Ce corps fritté à base d'alumine présente une densité supérieure ou égale à 3,96 g/cm3 ; et l'écart-type des tailles de grains de grains cristallins d'alumine est inférieur à 4,0 µm.
アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主成分とし、アルミナの含有量に対するマグネシア（ＭｇＯ）の含有量が０．００ｍｏｌ％＜ＭｇＯ≦０．２０ｍｏｌ％である、アルミナ質焼結体は、密度が３．９６ｇ／ｃｍ3以上であり、かつアルミナ結晶粒子の粒径の標準偏差が４．０μｍより小さい。
ALUMINA-BASED SINTERED BODY AND ELECTROSTATIC CHUCK
CORPS FRITTÉ À BASE D'ALUMINE ET MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
アルミナ質焼結体、および静電チャック
HOTTA MOTOKI (author) / MATSUOKA TAKAYUKI (author) / OGAWA TAKAMICHI (author)
2023-04-27
Patent
Electronic Resource
Japanese