A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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METHOD FOR REPRODUCING COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND REPRODUCED COMPONENT
The present invention relates to a method for reproducing a component for semiconductor manufacturing and a reproduced component. The method according to an embodiment of the present invention comprises: a graphite substrate preparation step of preparing a graphite substrate; a damaged component installation step of positioning the damaged surface of a component for semiconductor manufacturing, damaged by plasma, to come into contact with the graphite substrate; a reproduced part forming step of forming a reproduced part on the damaged component for semiconductor manufacturing; and a processing step of processing the component having the reproduced part formed thereon into a desired shape.
La présente invention concerne un procédé de reproduction d'un composant pour la fabrication de semi-conducteurs et un composant reproduit. Le procédé selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : une étape de préparation de substrat de graphite consistant à préparer un substrat de graphite ; une étape d'installation de composant endommagé consistant à positionner la surface endommagée d'un composant pour la fabrication de semi-conducteurs, endommagé par un plasma, pour venir en contact avec le substrat de graphite ; une étape de formation de partie reproduite consistant à former une partie reproduite sur le composant endommagé pour la fabrication de semi-conducteurs ; et une étape d'usinage consistant à usiner le composant présentant la partie reproduite formée sur celui-ci en une forme souhaitée.
본 발명은 반도체 제조용 부품의 재생방법 및 재생부품에 관한 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 재생방법은 흑연 기재를 준비하는 흑연 기재 준비 단계, 플라즈마에 의해 손상된 반도체 제조용 부품의 손상면이 상기 흑연 기재에 맞닿도록 위치시키는 손상 부품 장착 단계, 상기 손상된 반도체 제조용 부품상에 재생부를 형성하는 재생부 형성 단계, 및 재생부가 형성된 부품을 원하는 형상으로 가공하는 가공 단계를 포함한다.
METHOD FOR REPRODUCING COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND REPRODUCED COMPONENT
The present invention relates to a method for reproducing a component for semiconductor manufacturing and a reproduced component. The method according to an embodiment of the present invention comprises: a graphite substrate preparation step of preparing a graphite substrate; a damaged component installation step of positioning the damaged surface of a component for semiconductor manufacturing, damaged by plasma, to come into contact with the graphite substrate; a reproduced part forming step of forming a reproduced part on the damaged component for semiconductor manufacturing; and a processing step of processing the component having the reproduced part formed thereon into a desired shape.
La présente invention concerne un procédé de reproduction d'un composant pour la fabrication de semi-conducteurs et un composant reproduit. Le procédé selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : une étape de préparation de substrat de graphite consistant à préparer un substrat de graphite ; une étape d'installation de composant endommagé consistant à positionner la surface endommagée d'un composant pour la fabrication de semi-conducteurs, endommagé par un plasma, pour venir en contact avec le substrat de graphite ; une étape de formation de partie reproduite consistant à former une partie reproduite sur le composant endommagé pour la fabrication de semi-conducteurs ; et une étape d'usinage consistant à usiner le composant présentant la partie reproduite formée sur celui-ci en une forme souhaitée.
본 발명은 반도체 제조용 부품의 재생방법 및 재생부품에 관한 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 재생방법은 흑연 기재를 준비하는 흑연 기재 준비 단계, 플라즈마에 의해 손상된 반도체 제조용 부품의 손상면이 상기 흑연 기재에 맞닿도록 위치시키는 손상 부품 장착 단계, 상기 손상된 반도체 제조용 부품상에 재생부를 형성하는 재생부 형성 단계, 및 재생부가 형성된 부품을 원하는 형상으로 가공하는 가공 단계를 포함한다.
METHOD FOR REPRODUCING COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND REPRODUCED COMPONENT
PROCÉDÉ DE REPRODUCTION DE COMPOSANT POUR FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS ET COMPOSANT REPRODUIT
반도체 제조용 부품의 재생방법 및 재생부품
KOO BUN-HEI (author) / KO MYUNG-JIN (author) / CHO HYEON-JUN (author) / OH SE-DU (author) / LEE SUNG-HO (author)
2023-06-08
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2019
METHOD FOR PRODUCING REPRODUCED WASTE MATERIAL COMPOSITION AND REPRODUCED WASTE MATERIAL COMPOSITION
| European Patent Office | 2019
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2021