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PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, SCHOTTKY ELECTRODE HAVING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, AND METHOD FOR PRODUCING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM
Provided are: a palladium cobalt oxide thin film; a delafossite-type oxide thin film; a schottky electrode having a delafossite-type oxide thin film; a method for producing a palladium cobalt oxide thin film; and a method for producing a delafossite-type oxide thin film. This palladium cobalt oxide thin film has such a property that the grain diameter of each crystal in the film is 100 nm to 500 nm inclusive, the thickness is larger than a critical thickness, and the height difference between a projected part and a depressed part in the thickness direction is 4 nm or less.
L'invention concerne : une couche mince d'oxyde de cobalt-palladium ; une couche mince d'oxyde de type délafossite ; une électrode Schottky possédant une couche mince d'oxyde de type délafossite ; un procédé de production d'une couche mince d'oxyde de cobalt-palladium ; et un procédé de production d'une couche mince d'oxyde de type délafossite. Cette couche mince d'oxyde de cobalt-palladium présente une propriété telle que le diamètre de grain de chaque cristal dans la couche est de 100 nm à 500 nm inclus, que l'épaisseur est supérieure à une épaisseur critique, et que la différence de hauteur entre une partie projetée et une partie enfoncée dans la direction de l'épaisseur est de 4 nm ou moins.
パラジウムコバルト酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜を有するショットキー電極、パラジウムコバルト酸化物薄膜の製造方法及びデラフォサイト型酸化物薄膜の製造方法を提供する。パラジウムコバルト酸化物薄膜は、膜中の結晶の粒径が１００ｎｍ以上５００ｎｍ以下で、厚みが臨界膜厚を超え、且つ、厚み方向の凹凸差が４ｎｍ以下である。
PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, SCHOTTKY ELECTRODE HAVING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, AND METHOD FOR PRODUCING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM
Provided are: a palladium cobalt oxide thin film; a delafossite-type oxide thin film; a schottky electrode having a delafossite-type oxide thin film; a method for producing a palladium cobalt oxide thin film; and a method for producing a delafossite-type oxide thin film. This palladium cobalt oxide thin film has such a property that the grain diameter of each crystal in the film is 100 nm to 500 nm inclusive, the thickness is larger than a critical thickness, and the height difference between a projected part and a depressed part in the thickness direction is 4 nm or less.
L'invention concerne : une couche mince d'oxyde de cobalt-palladium ; une couche mince d'oxyde de type délafossite ; une électrode Schottky possédant une couche mince d'oxyde de type délafossite ; un procédé de production d'une couche mince d'oxyde de cobalt-palladium ; et un procédé de production d'une couche mince d'oxyde de type délafossite. Cette couche mince d'oxyde de cobalt-palladium présente une propriété telle que le diamètre de grain de chaque cristal dans la couche est de 100 nm à 500 nm inclus, que l'épaisseur est supérieure à une épaisseur critique, et que la différence de hauteur entre une partie projetée et une partie enfoncée dans la direction de l'épaisseur est de 4 nm ou moins.
パラジウムコバルト酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜を有するショットキー電極、パラジウムコバルト酸化物薄膜の製造方法及びデラフォサイト型酸化物薄膜の製造方法を提供する。パラジウムコバルト酸化物薄膜は、膜中の結晶の粒径が１００ｎｍ以上５００ｎｍ以下で、厚みが臨界膜厚を超え、且つ、厚み方向の凹凸差が４ｎｍ以下である。
PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, SCHOTTKY ELECTRODE HAVING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM, METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE THIN FILM, AND METHOD FOR PRODUCING DELAFOSSITE-TYPE OXIDE THIN FILM
COUCHE MINCE D'OXYDE DE COBALT-PALLADIUM, COUCHE MINCE D'OXYDE DE TYPE DÉLAFOSSITE, ÉLECTRODE SCHOTTKY POSSÉDANT UNE COUCHE MINCE D'OXYDE DE TYPE DÉLAFOSSITE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE COUCHE MINCE D'OXYDE DE COBALT-PALLADIUM, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE COUCHE MINCE D'OXYDE DE TYPE DÉLAFOSSITE
パラジウムコバルト酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜、デラフォサイト型酸化物薄膜を有するショットキー電極、パラジウムコバルト酸化物薄膜の製造方法及びデラフォサイト型酸化物薄膜の製造方法
HARADA TAKAYUKI (author) / MASAHIRO YASUSHI (author)
2024-01-18
Patent
Electronic Resource
Japanese
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