A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET
Provided are a palladium cobalt oxide target, a delafossite-type oxide target, and a method for producing a palladium cobalt oxide target. The palladium cobalt oxide target has a compactness of 60-80%, the compactness being calculated on the basis of the density of palladium cobalt oxide (PdCoO2), and has a surface palladium cobalt oxide concentration of 90.0-99.5 mass%.
L'invention concerne une cible d'oxyde de palladium-cobalt, une cible d'oxyde de type délafossite, et un procédé de production d'une cible d'oxyde de palladium-cobalt. La cible d'oxyde de cobalt et de palladium a une compacité de 60 à 80 %, la compacité étant calculée sur la base de la densité d'oxyde de cobalt et de palladium (PdCoO2), et a une concentration en oxyde de cobalt de palladium de surface de 90,0 à 99,5 % en masse.
パラジウムコバルト酸化物ターゲット、デラフォサイト型酸化物ターゲット及びパラジウムコバルト酸化物ターゲットの製造方法を提供する。パラジウムコバルト酸化物ターゲットは、パラジウムコバルト酸化物（ＰｄＣｏＯ２）の密度に基づいて算出した緻密度が６０％以上８０％以下で、表面のパラジウムコバルト酸化物の濃度が９０.０質量％以上９９．５質量％以下である。
PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET
Provided are a palladium cobalt oxide target, a delafossite-type oxide target, and a method for producing a palladium cobalt oxide target. The palladium cobalt oxide target has a compactness of 60-80%, the compactness being calculated on the basis of the density of palladium cobalt oxide (PdCoO2), and has a surface palladium cobalt oxide concentration of 90.0-99.5 mass%.
L'invention concerne une cible d'oxyde de palladium-cobalt, une cible d'oxyde de type délafossite, et un procédé de production d'une cible d'oxyde de palladium-cobalt. La cible d'oxyde de cobalt et de palladium a une compacité de 60 à 80 %, la compacité étant calculée sur la base de la densité d'oxyde de cobalt et de palladium (PdCoO2), et a une concentration en oxyde de cobalt de palladium de surface de 90,0 à 99,5 % en masse.
パラジウムコバルト酸化物ターゲット、デラフォサイト型酸化物ターゲット及びパラジウムコバルト酸化物ターゲットの製造方法を提供する。パラジウムコバルト酸化物ターゲットは、パラジウムコバルト酸化物（ＰｄＣｏＯ２）の密度に基づいて算出した緻密度が６０％以上８０％以下で、表面のパラジウムコバルト酸化物の濃度が９０.０質量％以上９９．５質量％以下である。
PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET, DELAFOSSITE-TYPE OXIDE TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING PALLADIUM COBALT OXIDE TARGET
CIBLE D'OXYDE DE COBALT ET DE PALLADIUM, CIBLE D'OXYDE DE TYPE DÉLAFOSSITE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE CIBLE D'OXYDE DE COBALT ET DE PALLADIUM
パラジウムコバルト酸化物ターゲット、デラフォサイト型酸化物ターゲット及びパラジウムコバルト酸化物ターゲットの製造方法
MASAHIRO YASUSHI (author) / NUMAZAKI TAKESHI (author)
2024-01-18
Patent
Electronic Resource
Japanese
| European Patent Office | 2024
OXIDE SPUTTERING TARGET, AND METHOD OF PRODUCING OXIDE SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2022
Oxide sputtering target and method for producing oxide sputtering target
| European Patent Office | 2022
OXIDE SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING OXIDE SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2021