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PREPARATION METHOD FOR POLYMER-DERIVED CERAMIC HIGH-TEMPERATURE THIN-FILM SENSOR
The present invention belongs to the technical field of sensor preparation and provides a preparation method for a polymer-derived ceramic high-temperature thin-film sensor. In the present invention, a sensitive layer precursor fluid is sprayed onto an aluminum oxide substrate so as to prepare a sensitive layer precursor layer, the sensitive layer precursor fluid being obtained by mixing a precursor fluid and conductive powder; and a protective layer precursor fluid is sprayed onto the sensitive layer precursor layer so as to prepare a protective layer precursor layer, the protective layer precursor fluid being obtained by mixing TiB2 nano-powder, insulating powder and the precursor fluid. The present invention uses a one-time pyrolysis method to simultaneously pyrolyze a protective layer, solder and a sensitive layer, so as to obtain the protective layer, solder joints and the sensitive layer at the same time, does not need to first pyrolyze the sensitive layer so as to save the time for pyrolyzing the sensitive layer, involves a simple process, and exhibits a wide range of application and high efficiency.
La présente invention se rapporte au domaine technique de la préparation de capteurs et concerne un procédé de préparation d'un capteur céramique haute température à couches minces dérivé d'un polymère. Dans la présente invention, un fluide précurseur de couche sensible est pulvérisé sur un substrat d'oxyde d'aluminium de façon à préparer une couche de précurseur sensible, le fluide précurseur de couche sensible étant obtenu en mélangeant un fluide précurseur et une poudre conductrice; et un fluide précurseur de couche protectrice est pulvérisé sur la couche de précurseur sensible de façon à préparer une couche de précurseur protectrice, le fluide précurseur de couche protectrice étant obtenu en mélangeant de la nanopoudre de TiB2, une poudre isolante et le fluide précurseur. La présente invention utilise un procédé de pyrolyse unique pour pyrolyser simultanément une couche protectrice, une brasure et une couche sensible, de façon à obtenir simultanément la couche protectrice, les joints de brasure et la couche sensible, ne nécessite pas une première pyrolyse de la couche sensible et permet ainsi de gagner du temps pour la pyrolyse de la couche sensible, fait appel à un processus simple, et présente une large plage d'application et une efficacité élevée.
本发明提供了一种聚合物前驱体高温陶瓷薄膜传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域。本发明通过在氧化铝衬底上喷涂敏感层前驱体液制备敏感层前驱体层，敏感层前驱体液由前驱体液与导电粉末混合得到，在敏感层前驱体层上喷涂保护层前驱体液制备保护层前驱体层，保护层前驱体液由TiB2纳米粉末、绝缘粉末与前驱体液混合得到，本发明采用一次热解的方法同时将保护层、焊料和敏感层热解，同时获得了保护层、焊点和敏感层，无需先热解敏感层，省去了热解敏感层的时间，工艺简单，适用范围广、效率高。
PREPARATION METHOD FOR POLYMER-DERIVED CERAMIC HIGH-TEMPERATURE THIN-FILM SENSOR
The present invention belongs to the technical field of sensor preparation and provides a preparation method for a polymer-derived ceramic high-temperature thin-film sensor. In the present invention, a sensitive layer precursor fluid is sprayed onto an aluminum oxide substrate so as to prepare a sensitive layer precursor layer, the sensitive layer precursor fluid being obtained by mixing a precursor fluid and conductive powder; and a protective layer precursor fluid is sprayed onto the sensitive layer precursor layer so as to prepare a protective layer precursor layer, the protective layer precursor fluid being obtained by mixing TiB2 nano-powder, insulating powder and the precursor fluid. The present invention uses a one-time pyrolysis method to simultaneously pyrolyze a protective layer, solder and a sensitive layer, so as to obtain the protective layer, solder joints and the sensitive layer at the same time, does not need to first pyrolyze the sensitive layer so as to save the time for pyrolyzing the sensitive layer, involves a simple process, and exhibits a wide range of application and high efficiency.
La présente invention se rapporte au domaine technique de la préparation de capteurs et concerne un procédé de préparation d'un capteur céramique haute température à couches minces dérivé d'un polymère. Dans la présente invention, un fluide précurseur de couche sensible est pulvérisé sur un substrat d'oxyde d'aluminium de façon à préparer une couche de précurseur sensible, le fluide précurseur de couche sensible étant obtenu en mélangeant un fluide précurseur et une poudre conductrice; et un fluide précurseur de couche protectrice est pulvérisé sur la couche de précurseur sensible de façon à préparer une couche de précurseur protectrice, le fluide précurseur de couche protectrice étant obtenu en mélangeant de la nanopoudre de TiB2, une poudre isolante et le fluide précurseur. La présente invention utilise un procédé de pyrolyse unique pour pyrolyser simultanément une couche protectrice, une brasure et une couche sensible, de façon à obtenir simultanément la couche protectrice, les joints de brasure et la couche sensible, ne nécessite pas une première pyrolyse de la couche sensible et permet ainsi de gagner du temps pour la pyrolyse de la couche sensible, fait appel à un processus simple, et présente une large plage d'application et une efficacité élevée.
本发明提供了一种聚合物前驱体高温陶瓷薄膜传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域。本发明通过在氧化铝衬底上喷涂敏感层前驱体液制备敏感层前驱体层，敏感层前驱体液由前驱体液与导电粉末混合得到，在敏感层前驱体层上喷涂保护层前驱体液制备保护层前驱体层，保护层前驱体液由TiB2纳米粉末、绝缘粉末与前驱体液混合得到，本发明采用一次热解的方法同时将保护层、焊料和敏感层热解，同时获得了保护层、焊点和敏感层，无需先热解敏感层，省去了热解敏感层的时间，工艺简单，适用范围广、效率高。
PREPARATION METHOD FOR POLYMER-DERIVED CERAMIC HIGH-TEMPERATURE THIN-FILM SENSOR
PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN CAPTEUR CÉRAMIQUE HAUTE TEMPÉRATURE À COUCHES MINCES DÉRIVÉ D'UN POLYMÈRE
一种聚合物前驱体高温陶瓷薄膜传感器的制备方法
CUI ZAIFU (author) / LU ZHENGUO (author) / HUANG LIWEN (author) / WANG ZHONGHAI (author) / XU ZITONG (author) / DUAN WENJIN (author) / GOU BOHUAI (author) / MAO DINGYUN (author) / CHEN XIAOJUN (author) / LI XIN (author)
2025-01-16
Patent
Electronic Resource
Chinese
Preparation method of polymer-derived high-temperature ceramic film sensor
| European Patent Office | 2025
PREPARATION METHOD OF POLYMER-DERIVED HIGH-TEMPERATURE CERAMIC FILM SENSOR
| European Patent Office | 2025
Preparation method of polymer precursor ceramic high-temperature film sensor
| European Patent Office | 2024
SiAlCN polymer precursor ceramic temperature sensor and preparation method thereof
| European Patent Office | 2015
| European Patent Office | 2023