A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Bei der Züchtung von Silicium-Einkristallen für die Halbleiterindustrie sowie bei anderen, unter nahezu Vakuumbedingungen ablaufenden Prozessen können staubförmige Nebenprodukte auftreten, die eine hohe Reaktionsfähigkeit mit Luftsauerstoff aufweisen (Pyrophorität ist möglich). Treten amorphe bzw. metastabile Modifikationen von Elementen und Verbindungen auf, so ist durch den Übergang in stabilere Formen (kristalline Strukturen) mit freiwerdener Reaktionswärme zu rechnen. Die sicherheitstechnische Untersuchung dieser Siliciumstäube ergab teilweise eine sehr hohe Zündbereitschaft (niedrige Selbstentzündungs- und Zündtemperaturen, leichte Entzündbarkeit durch elektrostatische Entladungen)und eine hohe Brennbarkeit (schnelles Abbrennen unter Flammenerscheinung), wobei das sicherheitstechnische Gefährdungspotential der Stäube sich im Laufe der Zeit allmählich vermindert. Durch eine gezielte Alterung des Staubes mittels Luftspülung sowie weitere Maßnahmen zur Vermeidung wirksamer Zündquellen konnten Brand- und Explosionsereignisse bei den betreffenden technologischen Prozessen auf ein Minimum begrenzt werden.
Bei der Züchtung von Silicium-Einkristallen für die Halbleiterindustrie sowie bei anderen, unter nahezu Vakuumbedingungen ablaufenden Prozessen können staubförmige Nebenprodukte auftreten, die eine hohe Reaktionsfähigkeit mit Luftsauerstoff aufweisen (Pyrophorität ist möglich). Treten amorphe bzw. metastabile Modifikationen von Elementen und Verbindungen auf, so ist durch den Übergang in stabilere Formen (kristalline Strukturen) mit freiwerdener Reaktionswärme zu rechnen. Die sicherheitstechnische Untersuchung dieser Siliciumstäube ergab teilweise eine sehr hohe Zündbereitschaft (niedrige Selbstentzündungs- und Zündtemperaturen, leichte Entzündbarkeit durch elektrostatische Entladungen)und eine hohe Brennbarkeit (schnelles Abbrennen unter Flammenerscheinung), wobei das sicherheitstechnische Gefährdungspotential der Stäube sich im Laufe der Zeit allmählich vermindert. Durch eine gezielte Alterung des Staubes mittels Luftspülung sowie weitere Maßnahmen zur Vermeidung wirksamer Zündquellen konnten Brand- und Explosionsereignisse bei den betreffenden technologischen Prozessen auf ein Minimum begrenzt werden.
Brand- und Explosionsgefahren durch unter Vakuumbedingungen entstehende Stäube am Beispiel der Silicium-Kristallzüchtung
2000
10 Seiten, 4 Tabellen, 4 Quellen
Conference paper
German
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