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Silicon on insulator optical waveguides formed by direct water bonding

Reed, G. T. / Li, J. / Tang, C. K. / Lin, C.

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Titel:

Silicon on insulator optical waveguides formed by direct water bonding

Beteiligte:

Reed, G. T. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Tang, C. K. (Autor:in) / Lin, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 15 ; 156

Erscheinungsdatum:

01.01.1992

Format / Umfang:

156 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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