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Reduction of sidewall roughness in silicon-on-insulator rib waveguides

Gao, F. / Wang, Y. / Cao, G. / Jia, X. / Zhang, F.

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Titel:

Reduction of sidewall roughness in silicon-on-insulator rib waveguides

Beteiligte:

Gao, F. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Cao, G. (Autor:in) / Jia, X. (Autor:in) / Zhang, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 5071-5075

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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