Spectroscopic ellipsometric characterization of Si/Si~1~-~xGe~x strained-layer supperlattices: Fid-Bau Portal

Spectroscopic ellipsometric characterization of Si/Si~1~-~xGe~x strained-layer supperlattices

Yao, H. / Woollam, J. A. / Wang, P. J. / Tejwani, M. J.

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Titel:

Spectroscopic ellipsometric characterization of Si/Si~1~-~xGe~x strained-layer supperlattices

Beteiligte:

Yao, H. (Autor:in) / Woollam, J. A. (Autor:in) / Wang, P. J. (Autor:in) / Tejwani, M. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 63 ; 52

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

52 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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