Ellipsometric characterization of oxidized porous silicon layer structures: Fid-Bau Portal

Ellipsometric characterization of oxidized porous silicon layer structures

Lohner, T. / Fried, M. / Petrik, P. / Polgar, O. / Gyulai, J. / Lehnert, W.

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Titel:

Ellipsometric characterization of oxidized porous silicon layer structures

Beteiligte:

Lohner, T. (Autor:in) / Fried, M. (Autor:in) / Petrik, P. (Autor:in) / Polgar, O. (Autor:in) / Gyulai, J. (Autor:in) / Lehnert, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 69-70 ; 182 - 187

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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