Ion beam synthesis of buried and surface nickel silicides during a single implantation step: Fid-Bau Portal

Ion beam synthesis of buried and surface nickel silicides during a single implantation step

Wu, M. F. / De Wachter, J. / Pattyn, H. / Van Bavel, A.-M.

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Titel:

Ion beam synthesis of buried and surface nickel silicides during a single implantation step

Beteiligte:

Wu, M. F. (Autor:in) / De Wachter, J. (Autor:in) / Pattyn, H. (Autor:in) / Van Bavel, A.-M. (Autor:in) / Janssen, G. C. A. M. / Jongste, J. F. / Radelaar, S.

Erschienen in:

Proceedings of the Fifth European Workshop on Refractory Metals and Silicides ; 246

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 72

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

246 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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