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Deformation mechanisms of Al films on oxidized Si wafers

Volkert, C. A. / Alofs, C. F. / Liefting, J. R.

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Titel:

Deformation mechanisms of Al films on oxidized Si wafers

Beteiligte:

Volkert, C. A. (Autor:in) / Alofs, C. F. (Autor:in) / Liefting, J. R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 9 ; 1147

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

1147 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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