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Materials Issues in Copper Interconnections

Harper, J. M. E. / Colgan, E. G. / Hu, C.-K. / Hummel, J. P.

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Titel:

Materials Issues in Copper Interconnections

Beteiligte:

Harper, J. M. E. (Autor:in) / Colgan, E. G. (Autor:in) / Hu, C.-K. (Autor:in) / Hummel, J. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 19 ; 23

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

23 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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