Rutherford backscattering studies of solid phase recrystallization and incorporation in erbium-implanted silicon: Fid-Bau Portal

Rutherford backscattering studies of solid phase recrystallization and incorporation in erbium-implanted silicon

Li, D.-Q. / Ren, T.-Q. / Gong, B.-A. / Zhang, B.

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Titel:

Rutherford backscattering studies of solid phase recrystallization and incorporation in erbium-implanted silicon

Beteiligte:

Li, D.-Q. (Autor:in) / Ren, T.-Q. (Autor:in) / Gong, B.-A. (Autor:in) / Zhang, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 30 ; L1

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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