Structural characterization of ultra-thin (001) silicon films bonded onto (001) silicon wafers: Fid-Bau Portal

Structural characterization of ultra-thin (001) silicon films bonded onto (001) silicon wafers

Rousseau, K. / Rouviere, J. L. / Fournel, F. / Moriceau, H.

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Titel:

Structural characterization of ultra-thin (001) silicon films bonded onto (001) silicon wafers

Beteiligte:

Rousseau, K. (Autor:in) / Rouviere, J. L. (Autor:in) / Fournel, F. (Autor:in) / Moriceau, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 101-104

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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