Mechanisms for Enhanced Formation of the C45 Phase of Titanium Silicide Ultra-Large-Scale Integration Contacts: Fid-Bau Portal

Mechanisms for Enhanced Formation of the C45 Phase of Titanium Silicide Ultra-Large-Scale Integration Contacts

Harper, J. M. E. / Cabral, C. / Lavoie, C.

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Titel:

Mechanisms for Enhanced Formation of the C45 Phase of Titanium Silicide Ultra-Large-Scale Integration Contacts

Beteiligte:

Harper, J. M. E. (Autor:in) / Cabral, C. (Autor:in) / Lavoie, C. (Autor:in)

Erschienen in:

ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE ; 30 ; 523-543

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

21 pages

ISSN:

0084-6600

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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