Plasma-Immersion Ion Implantation: Fid-Bau Portal

Plasma-Immersion Ion Implantation

Mantese, J. V. / Brown, I. G. / Cheung, N. W. / Collins, G. A.

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Titel:

Plasma-Immersion Ion Implantation

Beteiligte:

Mantese, J. V. (Autor:in) / Brown, I. G. (Autor:in) / Cheung, N. W. (Autor:in) / Collins, G. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 21 ; 52-57

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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