Plasma Immersion Ion Implantation of Nitrogen into Porous Silicon Layers: Fid-Bau Portal

Plasma Immersion Ion Implantation of Nitrogen into Porous Silicon Layers

Manuaba, A. / Pinter, I. / Szilagyi, E. / Battistig, G. / Ortega, C. / Grosman, A. / Amsel, G.

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Titel:

Plasma Immersion Ion Implantation of Nitrogen into Porous Silicon Layers

Beteiligte:

Manuaba, A. (Autor:in) / Pinter, I. (Autor:in) / Szilagyi, E. (Autor:in) / Battistig, G. (Autor:in) / Ortega, C. (Autor:in) / Grosman, A. (Autor:in) / Amsel, G. (Autor:in) / Balogh, A. G. / Walter, G.

Erschienen in:

Materials Science Applications of Ion Beam Techniques ; 233-236

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 248/249

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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