Auger electron depth profiling of the Cr/Al~2O~3 metallization system: Fid-Bau Portal

Auger electron depth profiling of the Cr/Al~2O~3 metallization system

Lu, H. / Cui, Y. D. / Qin, J. / Bao, C. L. / Shen, D. H.

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Titel:

Auger electron depth profiling of the Cr/Al~2O~3 metallization system

Beteiligte:

Lu, H. (Autor:in) / Cui, Y. D. (Autor:in) / Qin, J. (Autor:in) / Bao, C. L. (Autor:in) / Shen, D. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 103 ; 113-125

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

13 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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