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    Titel:

    Optical properties of excimer laser annealed polycrystalline Si by spectroscopic ellipsometry

    Beteiligte:

    Yu, G. (Autor:in) / Soga, T. (Autor:in) / Shao, C. L. (Autor:in) / Jimbo, T. (Autor:in) / Umeno, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 489-492

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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