Surface processing of silicon carbide substrates: Fid-Bau Portal

Surface processing of silicon carbide substrates

Bakin, A. S. / Dorozhkin, S. I. / Bogachov, S. V. / Kazak-Kazakevich, A. Z. / Lyutetskaja, I. G. / Sazanov, A. P.

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Titel:

Surface processing of silicon carbide substrates

Beteiligte:

Bakin, A. S. (Autor:in) / Dorozhkin, S. I. (Autor:in) / Bogachov, S. V. (Autor:in) / Kazak-Kazakevich, A. Z. (Autor:in) / Lyutetskaja, I. G. (Autor:in) / Sazanov, A. P. (Autor:in) / Camassel, J. / Fricke, K. / Krozer, V. / Robert, J. L.

Erschienen in:

High Temperature Electronics: Materials, Devices and Applications ; 370-373

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 46

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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