Effect of Hot Isostatic Press Annealing for Ion-Implanted Silicon Carbide: Fid-Bau Portal

Effect of Hot Isostatic Press Annealing for Ion-Implanted Silicon Carbide

Hirabayashi, Y. / Furuya, M. / Hirai, K. / Takano, H. / Yabuta, K. / Kumagai, M.

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Titel:

Effect of Hot Isostatic Press Annealing for Ion-Implanted Silicon Carbide

Beteiligte:

Hirabayashi, Y. (Autor:in) / Furuya, M. (Autor:in) / Hirai, K. (Autor:in) / Takano, H. (Autor:in) / Yabuta, K. (Autor:in) / Kumagai, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268 ; 749-752

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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