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Laser annealing of Al implanted silicon carbide: Structural and optical characterization

Boutopoulos, C. / Terzis, P. / Zergioti, I. / Kontos, A. G. / Zekentes, K. / Giannakopoulos, K. / Raptis, Y. S.

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Titel:

Laser annealing of Al implanted silicon carbide: Structural and optical characterization

Beteiligte:

Boutopoulos, C. (Autor:in) / Terzis, P. (Autor:in) / Zergioti, I. (Autor:in) / Kontos, A. G. (Autor:in) / Zekentes, K. (Autor:in) / Giannakopoulos, K. (Autor:in) / Raptis, Y. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 7912-7916

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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