Discrete �-Ta~2O~5 crystallite formation in reactively sputtered amorphous thin films: Fid-Bau Portal

Discrete -Ta~2O~5 crystallite formation in reactively sputtered amorphous thin films

Beckage, P. J. / Knorr, D. B. / Wu, X. M. / Lu, T.-M. / Rymaszewski, E. J.

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Titel:

Discrete -Ta~2O~5 crystallite formation in reactively sputtered amorphous thin films

Beteiligte:

Beckage, P. J. (Autor:in) / Knorr, D. B. (Autor:in) / Wu, X. M. (Autor:in) / Lu, T.-M. (Autor:in) / Rymaszewski, E. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 33 ; 4375-4379

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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