In situ transmission electron microscopy study of the silicidation process in Co thin films on patterned (001) Si substrates: Fid-Bau Portal

In situ transmission electron microscopy study of the silicidation process in Co thin films on patterned (001) Si substrates

Ghica, C. / Nistor, L. / Bender, H. / Steegen, A. / Lauwers, A. / Maex, K. / Van Landuyt, J.

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Titel:

In situ transmission electron microscopy study of the silicidation process in Co thin films on patterned (001) Si substrates

Beteiligte:

Ghica, C. (Autor:in) / Nistor, L. (Autor:in) / Bender, H. (Autor:in) / Steegen, A. (Autor:in) / Lauwers, A. (Autor:in) / Maex, K. (Autor:in) / Van Landuyt, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 701-708

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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