Large area silicon carbide devices fabricated on SiC wafers with reduced micropipe density: Fid-Bau Portal

Large area silicon carbide devices fabricated on SiC wafers with reduced micropipe density

Dmitriev, V. / Rendakova, S. / Kuznetsov, N. / Savkina, N. / Andreev, A. / Rastegaeva, M. / Mynbaeva, M. / Morozov, A.

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Titel:

Large area silicon carbide devices fabricated on SiC wafers with reduced micropipe density

Beteiligte:

Dmitriev, V. (Autor:in) / Rendakova, S. (Autor:in) / Kuznetsov, N. (Autor:in) / Savkina, N. (Autor:in) / Andreev, A. (Autor:in) / Rastegaeva, M. (Autor:in) / Mynbaeva, M. (Autor:in) / Morozov, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 446 - 449

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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