100 mm 4HN-SiC Wafers with Zero Micropipe Density: Fid-Bau Portal

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100 mm 4HN-SiC Wafers with Zero Micropipe Density

Leonard, R.T. / Khlebnikov, Y. / Powell, A.R. / Basceri, C. / Brady, M.F. / Khlebnikov, I. / Jenny, J.R. / Malta, D.P. / Paisley, M.J. / Tsvetkov, V.F.

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Titel:

100 mm 4HN-SiC Wafers with Zero Micropipe Density

Beteiligte:

Leonard, R.T. (Autor:in) / Khlebnikov, Y. (Autor:in) / Powell, A.R. (Autor:in) / Basceri, C. (Autor:in) / Brady, M.F. (Autor:in) / Khlebnikov, I. (Autor:in) / Jenny, J.R. (Autor:in) / Malta, D.P. (Autor:in) / Paisley, M.J. (Autor:in) / Tsvetkov, V.F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 600/603 ; 7-10

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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