Heteroepitaxial growth of 3C-SiC using HMDS by atmospheric CVD: Fid-Bau Portal

Heteroepitaxial growth of 3C-SiC using HMDS by atmospheric CVD

Chen, Y. / Matsumoto, K. / Nishio, Y. / Shirafuji, T. / Nishino, S.

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Titel:

Heteroepitaxial growth of 3C-SiC using HMDS by atmospheric CVD

Beteiligte:

Chen, Y. (Autor:in) / Matsumoto, K. (Autor:in) / Nishio, Y. (Autor:in) / Shirafuji, T. (Autor:in) / Nishino, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 579 - 582

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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