Epitaxial Growth of 4H-SiC with Hexamethyldisilane HMDS: Fid-Bau Portal

Epitaxial Growth of 4H-SiC with Hexamethyldisilane HMDS

Sartel, C. / Souliere, V. / Dazord, J. / Monteil, Y. / El-Harrouni, I. / Bluet, J. M. / Guillot, G.

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Titel:

Epitaxial Growth of 4H-SiC with Hexamethyldisilane HMDS

Beteiligte:

Sartel, C. (Autor:in) / Souliere, V. (Autor:in) / Dazord, J. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / El-Harrouni, I. (Autor:in) / Bluet, J. M. (Autor:in) / Guillot, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 263-266

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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