Annealing experiments on supercritical Si"1"-"xGe"x layers grown by RPCVD: Fid-Bau Portal

Annealing experiments on supercritical Si"1"-"xGe"x layers grown by RPCVD

Grimm, K. / Vescan, L. / Visser, C.C.G. / Nanver, L.K. / Luth, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Annealing experiments on supercritical Si"1"-"xGe"x layers grown by RPCVD

Grimm, K. / Vescan, L. / Visser, C.C.G. / Nanver, L.K. / Luth, H.

Annealing experiments on supercritical Si"1"-"xGe"x layers grown by RPCVD

Grimm, K. / Vescan, L. / Visser, C.C.G. / Nanver, L.K. / Luth, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Annealing experiments on supercritical Si"1"-"xGe"x layers grown by RPCVD

Beteiligte:

Grimm, K. (Autor:in) / Vescan, L. (Autor:in) / Visser, C.C.G. (Autor:in) / Nanver, L.K. (Autor:in) / Luth, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 69-70 ; 261 - 265

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Margetis, Joe / Mosleh, Aboozar / Ghetmiri, Seyed Amir et al. | British Library Online Contents | 2017

Optical properties of hybrid Si"1"-"xGe"x/Si quantum dot/quantum well structures grown on Si by RPCVD

Kil, Y. H. / Yang, H. D. / Yang, J. H. et al. | British Library Online Contents | 2014

Selective vapor phase etching of SiGe by HCl in a RPCVD reactor

Yamamoto, Y. / Kopke, K. / Kurps, R. et al. | British Library Online Contents | 2008

Ultralow temperature ramping rate of LT to HT for the growth of high quality Ge epilayer on Si (100) by RPCVD

Chen, D. / Xue, Z. / Wei, X. et al. | British Library Online Contents | 2014

Evidence of stress relaxation in thermally grown oxide layers - experiments and modelling

Huntz, A. M. / Daghigh, S. / Piant, A. et al. | British Library Online Contents | 1998

Nach oben