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Characterisation of epitaxial layers on silicon by spectroscopic ellipsometry

Dittmar, G. / Gruska, B.

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Titel:

Characterisation of epitaxial layers on silicon by spectroscopic ellipsometry

Beteiligte:

Dittmar, G. (Autor:in) / Gruska, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 73 ; 255 - 259

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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