Analysis of interface layers by spectroscopic ellipsometry: Fid-Bau Portal

Analysis of interface layers by spectroscopic ellipsometry

Kim, T. J. / Yoon, J. J. / Kim, Y. D. / Aspnes, D. E. / Klein, M. V. / Ko, D. S. / Kim, Y. W. / Elarde, V. C. / Coleman, J. J.

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Titel:

Analysis of interface layers by spectroscopic ellipsometry

Beteiligte:

Kim, T. J. (Autor:in) / Yoon, J. J. (Autor:in) / Kim, Y. D. (Autor:in) / Aspnes, D. E. (Autor:in) / Klein, M. V. (Autor:in) / Ko, D. S. (Autor:in) / Kim, Y. W. (Autor:in) / Elarde, V. C. (Autor:in) / Coleman, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 640-642

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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