Optical Characterization of 4H-SiC by Variable Angle of Incidence Spectroscopic Ellipsometry: Fid-Bau Portal

Optical Characterization of 4H-SiC by Variable Angle of Incidence Spectroscopic Ellipsometry

Lindquist, O. P. A. / Arwin, H. / Forsberg, U. / Bergman, J. P. / Jarrendahl, K.

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Titel:

Optical Characterization of 4H-SiC by Variable Angle of Incidence Spectroscopic Ellipsometry

Beteiligte:

Lindquist, O. P. A. (Autor:in) / Arwin, H. (Autor:in) / Forsberg, U. (Autor:in) / Bergman, J. P. (Autor:in) / Jarrendahl, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 575-578

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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