Low-Temperature Growth and Photoluminescence of SiCN Nanoparticle Film by Consecutive RF Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

Low-Temperature Growth and Photoluminescence of SiCN Nanoparticle Film by Consecutive RF Magnetron Sputtering

Xu, M. / Ng, V. M. / Huang, S. Y. / Xu, S. Y.

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Titel:

Low-Temperature Growth and Photoluminescence of SiCN Nanoparticle Film by Consecutive RF Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Xu, M. (Autor:in) / Ng, V. M. (Autor:in) / Huang, S. Y. (Autor:in) / Xu, S. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE REVIEW AND LETTERS ; 11 ; 515-520

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0218-625X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530.417

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