Low-temperature solid-phase crystallization of a-Si1-xGex on SiO2 by ion-beam stimulation: Fid-Bau Portal

Low-temperature solid-phase crystallization of a-Si1-xGex on SiO2 by ion-beam stimulation

Tsunoda, I. / Nagata, T. / Kenjo, A. / Sadoh, T. / Miyao, M.

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Titel:

Low-temperature solid-phase crystallization of a-Si1-xGex on SiO2 by ion-beam stimulation

Beteiligte:

Tsunoda, I. (Autor:in) / Nagata, T. (Autor:in) / Kenjo, A. (Autor:in) / Sadoh, T. (Autor:in) / Miyao, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 336 - 340

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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