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    Titel:

    Ultrathin Diffusion Barriers/Liners for Gigascale Copper Metallization

    Beteiligte:

    Kaloyeros, A. E. (Autor:in) / Eisenbraun, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE ; 30 ; 363-385

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    23 pages

    ISSN:

    0084-6600

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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