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    Titel:

    The role of microstructure in nanocrystalline conformal Co0.9W0.02P0.08 diffusion barriers for copper metallization

    Beteiligte:

    Kohn, A. (Autor:in) / Eizenberg, M. (Autor:in) / Shacham-Diamand, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 212-213 ; 367-372

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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