Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures: Fid-Bau Portal

Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

Aarik, J. / Aidla, A. / Mandar, H. / Uustare, T. / Kukli, K. / Schuisky, M.

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Titel:

Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

Beteiligte:

Aarik, J. (Autor:in) / Aidla, A. (Autor:in) / Mandar, H. (Autor:in) / Uustare, T. (Autor:in) / Kukli, K. (Autor:in) / Schuisky, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 173 ; 15-21

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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